반도체 초순수 적용처를 위한 특수 제어 밸브

반도체 초순수 적용처를 위한 특수 제어 밸브 -Mark Nymeyer, Rohit Anand 극소 실리콘 칩을 효과적으로 생산하기 위해서는 사용하는 물에 불순물이 없어야 합니다. 초순수(超純水)는 특수 부품으로 이루어진 제어 밸브 시스템을 통해 생산할 수 있습니다. 2023년 7월 호 Processing에 게재된 “반도체 초순수 적용처를 위한 제어 밸브 선정(Control Valve Selection for Semiconductor Ultrapure Applications)”을 소개합니다. 실리콘 칩은 어떻게 만들어지는가 실리콘 칩은 원(Raw) 실리콘 웨이퍼에 재료를 적층(Layering), 채널을 식각(Etching)해 생산합니다. 매 층 가공 후 웨이퍼는 화학물질, 연마재와 많은 양의 초순수의 혼합물로 평탄.......

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